實驗真空熱處爐主要由爐體、加熱室、真空系統(tǒng)、充放氣系統(tǒng)、風(fēng)冷循環(huán)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)及料車組成。工作時將裝配好的工件通過料車將工件送入爐膛，然后關(guān)閉爐門，自動鎖緊，通過預(yù)設(shè)程序控制抽真空、加熱、冷卻等整個熱處理過程。廣泛用于高等院校﹑科研院所的實驗室及工礦企業(yè)對陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開發(fā)、特種材料、建材、金屬、非金屬及其它化和物材料進行燒結(jié)﹑融化﹑分析、生產(chǎn)而研制的專用設(shè)備。
　　實驗真空熱處理爐為何抽不干空氣可能與下列原因相關(guān)聯(lián)：
　　真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成。這些動作內(nèi)在真空熱處理爐內(nèi)進行，操作人員無法接近。同時，有些動作如加熱保溫結(jié)束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內(nèi)完成。在這樣迅速的條件來完成許多動作，是很容易造成操作人員的緊張而構(gòu)成誤操作。因此，只有較高的目動化才能準確、及時按程序協(xié)調(diào)動。
　　如果真空爐抽真空時間相同，而真空度偏低，這時候關(guān)閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數(shù)情況是真空室泄漏，應(yīng)先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上，看哪里出現(xiàn)了泄漏或是擴散泵油被污染、氧化等等。前級管路密封不好，泵油不足或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障造成的也有可能。
　　檢漏問題分內(nèi)漏和外漏，外漏比較好檢測，內(nèi)漏則難處理一些：
　　外漏較大漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。內(nèi)漏則要從真空爐的不同真空工作區(qū)域分區(qū)排查，在真空系統(tǒng)達到一定壓力值后，分別啟動卷繞和蒸發(fā)系統(tǒng)，觀察真空計的讀數(shù)在短暫下降后有無爬升，可以初步判斷內(nèi)漏點方向。
　　內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷卻點的設(shè)備上，在查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點，但是機械泵的抽速明顯偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕等，具備以上條件基本可以推斷內(nèi)漏，先將腔體清理干凈，再通冷卻水，仔細查看通水管路有無濕潤點，濕潤處就是漏點。